индукц бүхий mocvd реакторыг халаах
Индукцийн халаалттай Металл органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) реактор нь халаалтын үр ашгийг дээшлүүлэх, хийн оролттой хортой соронзон холболтыг багасгахад чиглэсэн технологи юм. Уламжлалт индукцийн халаалттай MOCVD реакторууд нь ихэвчлэн индукцийн ороомог нь камерын гадна байрладаг бөгөөд энэ нь халаалт багатай, хийн дамжуулах системд соронзон хөндлөнгийн нөлөөлөл үүсгэдэг. Саяхан… Цааш нь