Индукцийн халаалт Металл органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) реакторууд нь халаалтын үр ашгийг дээшлүүлэх, хийн оролттой хортой соронзон холболтыг багасгахад чиглэсэн технологи юм. Уламжлалт индукцийн халаалттай MOCVD реакторууд нь ихэвчлэн индукцийн ороомог нь камерын гадна байрладаг бөгөөд энэ нь халаалт багатай, хийн дамжуулах системд соронзон хөндлөнгийн нөлөөлөл үүсгэдэг. Сүүлийн үеийн шинэлэг зүйлүүд нь халаалтын процессыг сайжруулахын тулд эдгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг нүүлгэн шилжүүлэх эсвэл дахин төлөвлөхийг санал болгож байгаа бөгөөд ингэснээр вафель дээрх температурын жигд тархалтыг сайжруулж, соронзон оронтой холбоотой сөрөг нөлөөллийг багасгах болно. Энэхүү дэвшил нь тунадасны процессыг илүү сайн хянахад чухал ач холбогдолтой бөгөөд ингэснээр илүү өндөр чанартай хагас дамжуулагч хальс бий болно.
MOCVD реакторыг индукцээр халаах
Металл органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) нь хагас дамжуулагч материалыг үйлдвэрлэхэд ашигладаг амин чухал үйл явц юм. Энэ нь хийн прекурсоруудаас нимгэн хальсыг субстрат дээр буулгах явдал юм. Эдгээр хальсны чанар нь реактор доторх температурын жигд байдал, хяналтаас ихээхэн хамаардаг. Индукцийн халаалт нь MOCVD процессын үр ашиг, үр дүнг сайжруулах нарийн шийдэл болж гарч ирсэн.
MOCVD реактор дахь индукцийн халаалтын танилцуулга
Индукцийн халаалт нь объектыг халаахад цахилгаан соронзон орныг ашигладаг арга юм. MOCVD реакторуудын хувьд энэ технологи нь уламжлалт халаалтын аргуудаас хэд хэдэн давуу талтай байдаг. Энэ нь температурыг илүү нарийвчлалтай хянах, субстрат даяар жигд байх боломжийг олгодог. Энэ нь өндөр чанартай киноны өсөлтөд хүрэхэд маш чухал юм. 
Индукцийн халаалтын ашиг тус
Халаалтын үр ашиг сайжирсан: Индукцийн халаалт нь камерыг бүхэлд нь халаахгүйгээр мэдрэгчийг (субстратын эзэмшигч) шууд халаах замаар үр ашгийг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг. Энэхүү шууд халаалтын арга нь эрчим хүчний алдагдлыг багасгаж, дулааны хариу өгөх хугацааг нэмэгдүүлдэг.
Хортой соронзон холболтыг бууруулсан: Индукцийн ороомог ба реакторын камерын дизайныг оновчтой болгосноор реакторыг удирдаж буй электроникийн системд сөргөөр нөлөөлж болох соронзон холболтыг багасгах боломжтой бөгөөд хуримтлагдсан хальсны чанарт сөргөөр нөлөөлдөг.
Температурын жигд хуваарилалт: Уламжлалт MOCVD реакторууд нь ихэвчлэн субстрат даяар жигд бус температурын хуваарилалттай тэмцэж, хальсны өсөлтөд сөргөөр нөлөөлдөг. Индукцийн халаалт нь халаалтын бүтцийг сайтар төлөвлөх замаар температурын хуваарилалтын жигд байдлыг мэдэгдэхүйц сайжруулж чадна.
Дизайн инноваци
Сүүлийн үеийн судалгаа, загварууд нь уламжлалт хязгаарлалтыг даван туулахад чиглэгдэж байна Индукцийн халаалт MOCVD реакторуудад. Судлаачид T хэлбэрийн мэдрэгч эсвэл V хэлбэрийн оролт зэрэг шинэ мэдрэгчийн загварыг нэвтрүүлснээр температурын жигд байдал, халаалтын процессын үр ашгийг нэмэгдүүлэхийг зорьж байна. Түүнчлэн, хүйтэн ханатай MOCVD реакторуудын халаалтын бүтцийн талаархи тоон судалгаа нь илүү сайн гүйцэтгэлтэй байхын тулд реакторын дизайныг оновчтой болгох талаархи ойлголтыг өгдөг.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд үзүүлэх нөлөө
-ийн хамтын ажиллагааны индукцийн халаалтын MOCVD реакторууд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд чухал ахиц дэвшлийг илэрхийлдэг. Энэ нь хуримтлуулах үйл явцын үр ашиг, чанарыг сайжруулаад зогсохгүй илүү дэвшилтэт электрон болон фотоник төхөөрөмжийг хөгжүүлэхэд хувь нэмэр оруулдаг.